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超高纯压力变送器 227

Setra 227 型压力变送器专为高密度的模块式;

气体棒和面板设计,能够满足如今300 mm

工具的要求。该型号占用空间仅11/8″,能节省宝贵的空间;结构坚固,是要求长期稳定性、高精度和适合在恶劣环境使用的压力测量的理想选择。与其他采用大体积封头腔室的产品不同,Setra 227 型压力变送器采用了易于吹扫的小型传感器腔室设计。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L 不锈钢制造,且表面钝化抛光至5 Ra(最大7 Ra),确保表面平整且耐化学腐蚀,实现无污染气体输送。

特性;接液部件采用316 L VIM/VAR 不锈钢制造,

 符合Semi F19/F20 标准;出色的稳定性,避免停机 ;抗电磁干扰/ 射频干扰,可防止误停机 ;4-20mA 输出型获得不易燃认证,适用于潜在危险区域;符合CE 标准要求;符合 标准要求 应用·11/8″气体棒和面板;高纯度气体输送系统 ;半导体过程工具


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